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CVD涂層設(shè)備

產(chǎn)品編號(hào):

關(guān)鍵詞:

cvd 10-100l 氮?dú)?/span> CVD涂層設(shè)備

詳情介紹

 

設(shè)備用途
提供具體真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境,應(yīng)用在半導(dǎo)體,納米技術(shù),碳纖維等新材料工藝領(lǐng)域。


主要技術(shù)參數(shù)
1、額定功率:30KW
2、最高溫度:500℃
3、有效工作區(qū)尺寸:Φ400×800mm
4、空爐冷態(tài)極限真空度:≤20Pa(15min內(nèi)能抽到20Pa以下)
5、冷態(tài)壓升率:≤2Pa∕h
6、充氣壓力(微正壓):≤0.01Mpa
7、工作氣氛:空氣和氮?dú)?nbsp;   
8、兩個(gè)空氣浮子流量計(jì):1-10L/min,10-100L/min
9、兩個(gè)氮?dú)飧∽恿髁坑?jì):1-10L/min,10-100L/min
10、樣品轉(zhuǎn)速:1-10r/min
11、發(fā)熱元件:Cr20Ni80
12、測(cè)溫方式:K型熱電偶
13、控溫精度:±1℃
14. 溫度均勻性:±5℃
15、樣品尺寸:Φ300×300mm;數(shù)量:2
16、爐型:臥式

注:可根據(jù)用戶要求定制各種型號(hào)非標(biāo)產(chǎn)品。

產(chǎn)品詢價(jià)

我們的工作人員將會(huì)在24小時(shí)之內(nèi)(工作日)聯(lián)系您

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